반도체 캐니스터(CANISTER) 항온수조보다 효과적인 저온제어 시스템
2024.10.04
반도체의 잔공정 중 전구체를 보관하는 캐니스터에 최근 저온공정을 연구, 시도하는 사례가 많아지고 있습...
출처
https://blog.naver.com/raise5775/223316110009
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