'온실가스? 이제는 희귀가스!'...EUV 광원 핵심소재로 떠오른 탄산가스

2025.01.27

EUV 노광공정용 광원 만들 때 필수 소재 탄산가스 원유 정제 과정에서 부산물인 탄산 원액으로 제조 국...

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