삼성전자 투과율 88% EUV용 Pellicle 개발
2025.05.20
펠리클은 포토공정에서 없어서는 안 될 핵심 부품 중 하나입니다. 근데 지금은 없습니다. 무슨 말이냐면 A...
출처
https://blog.naver.com/sangmooim/223013481939
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