[반도체 8대공정] 증착공정 - PVD 스퍼터링(Sputtering) 공정 변수 정리

2025.07.08

증착공정 중 스퍼터링 이론과 공정변수 4가지 정리 증착(Deposition)이란 웨이퍼 위에 원하는 분자 또는 ...

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