Sputter 설비 진공 잡는 법 - PVD공정의 Pump와 Valve

2025.07.08

진공 수준별 Pump 일반적으로 챔버 내를 저진공 수준까지 잡는 1차 펌프는 Rotary Pump가 있고 고 진공 ...

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