EUV·NIL 등 차세대 리소그래피 특허...TSMC가 삼성전자 압도
2025.01.27
첨단 리소그래피 기술 개발 활발…EUV 외 NIL·DSA 등도 업계 관심 TSMC, 관련 특허 보유 수 4...
출처
https://blog.naver.com/tnsdktjd/222998223776
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